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2021-1-13 10:38:43
2021年1月8日，，，永利集团半导体首台应用于大功率半导体器件制造的新款12寸单晶圆薄片洗濯装备已通过厦门士兰集科量产要求，，，提前验收！该装备于2020年5月20日作为首批装备之一搬入工厂，，，从正式装机到应用于产品片生产，，，只用了18天的时间，，，原定一年的验证期仅用了6个月即顺遂完成验收！
装备搬入厦门士兰集科
永利集团新款12寸单晶圆薄片洗濯装备，，，是一款高产能的四腔系一切，，，用于超薄片的硅减薄湿法蚀刻工艺，，，以消除晶圆应力、并举行外貌洗濯等。 。。。该系统的传输及工艺？？？？槲」杵陌崴图肮ひ沾χ贸头Ｌ峁┝擞杏玫慕饩黾苹，，，基于伯努利效应，，，该系统在传输与工艺中，，，与晶圆外貌完全无接触，，，消除由接触带来的机械损伤，，，提高器件的良率。 。。。通过差别的设定，，，该系统可适用于Taiko片、超薄片、键合片、深沟槽片等差别厚度的晶圆；；；；；通过接纳差别的化学药液组合，，，该系统可拓展应用于洗濯、光刻胶去除、薄膜去除和金属蚀刻等工艺。 。。。
永利集团12寸单晶圆薄片洗濯装备
永利集团半导体12寸单晶圆薄片洗濯装备的快速投入量产使用并提前乐成验收是永利集团与海内量产客户团队的细密相助效果。 。。。在本次验收历程中，，，海内量产客户团队对该装备给予了鼎力大举支持和资助，，，通过双方的配合起劲，，，最终装备的可靠性、稳固性及工艺能力在短时间内抵达验收标准。 。。。作为永利集团半导体2020年推出的主要新产品之一，，，该装备的顺遂验收不但为两个团队积累了名贵履历，，，也对推动该装备在功率器件新兴市场的推广具有主要意义，，，更为以后永利集团洗濯装备手艺提升、营业拓展提供坚实包管。 。。。
